低温微纳米压痕仪

产品概述：

低温微纳米压痕仪是根据现有纳米压痕测试基本理论、精密驱动技术、精密检测技术与低温制冷手段等进行开发的一款可在低温环境下进行材料压痕测试的仪器，能够测量材料的压入载荷-压入深度曲线、材料硬度、弹性模量、断裂韧性等基本参量。

性能特点：
●采用压电致动器的载荷装置保证测量的精确度
●压电致动器作为压痕测试的精密驱动加载，可大行程压痕驱动
●压痕测试模块具有良好的重复性和测试精度
●温度加载范围大，可实现-120℃ ～ 室温的变温加载
●温度控制精度高，试件温度波动小，有效提高低温压痕准确性
●真空设计，有效防止试件表面结冰影响
●配备专用检测控制系统与配套分析处理软件，可实时显示测试过程中位移和载荷信号变化并可实时显示实验曲线等功能

规格参数：

测试数据：

图A是利用低温微纳米压痕仪对熔融石英开展了压痕响应的测试研究，结果发现：随着温度的降低，试验测得的熔融石英的弹性模量值和硬度值均有减小的趋势。

图B是利用低温微纳米压痕仪对单晶硅开展了压痕响应的测试研究，结果发现：随着温度的降低其最大压入深度减小，刚度增加，硬度无明显变化。